||| 삼성전자, ASML 하이 NA EUV 차세대 장비 도입 일부 원점 검토

||| '10년간 4대+α'서 '2대'로 계약 축소…양사 투자키로 한 R&D 센터도 재검토 기류

||| 삼성전자 반도체 새 수장 전영현 부회장 취임 후 결정

윤석열 대통령의 네덜란드 국빈 방문을 계기로 삼성전자 이재용 회장 등이 참여한 가운데 결정됐던 삼성전자-ASML의 협업 계획이 반년 만에 대폭 축소된 것으로 확인됐다.

삼성전자는 반도체 최첨단 반도체 양산에 필수적인 장비로 꼽히는 네덜란드 회사 ASML의 차세대 EUV(극자외선) 노광장비 도입 계획을 애초안보다 대폭 축소했고, 이에 따라 양사의 국내 R&D센터 건립도 중단됐다.  

이같은 조치가 삼성전자의 차세대 EUV 양산 기술 확보와 국내 반도체 생태계 조성에 미칠 영향에 관심이 쏠린다.

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||| 尹 "적극 지지·지원" 언급한 삼성-ASML R&D센터 건립 스톱

삼성전자가 차세대 하이 NA EUV 장비 도입 계획을 대거 수정하면서 삼성전자와 ASML이 함께 만들기로 했던 첨단반도체 공동연구소 건립에도 '빨간불'이 켜졌다.

삼성전자와 ASML은 7억유로(우리 돈 약 1조원)를 투자해 수도권에 R&D센터를 건립하고, 차세대 노광장비 개발을 추진하기로 했는데 삼성전자가 하이 NA EUV 장비 도입 계획을 수정하면서 이 연구소 건립 논의도 일단은 스톱됐다.

상황을 잘 아는 한 업계 관계자는 "연구시설 건립을 위해 경기도 화성시에 있는 부지를 매입하고 이를 위한 설계와 인허가 과정이 진행되다가 삼성 측에서 장비 도입 축소 방침을 전해오면서 관련 과정은 전면 중단된 상황으로 알고 있다"이라며 "다른 공간에라도 공동연구소가 설립될지, 공동연구소 설립 자체가 무산될지 등은 향후 논의과정에서 결정되어야 할 것"이라고 말했다.

앞서 양사는 지난해 12월 윤석열 대통령의 네덜란드 국빈 방문을 계기로 ASML 본사에서 열린 한국-네덜란드 반도체 협력 협약식에서 수도권에 EUV 공동연구소 설립에 관한 업무협약(MOU)을 체결했다.

당시 윤 대통령은 ASML 본사에서 열린 기업인 간담회에서 "한국과 네덜란드 반도체 동맹이 더욱 굳건해지는 계기가 되길 바란다"고 말했고, 올 1월 반도체 산업을 주제로 한 민생토론회에서도 ASML 본사를 방문했던 일을 전하며 "개방주의와 국제주의라는 게 과학과 산업을 키우는 것이라는 생각을 했다"며 국제 공동 연구 지원을 재차 언급하기도 했다.

삼성전자 이재용 회장도 윤 대통령과 국빈 방문 일정을 마치고 귀국하며 기자들을 만난 자리에서 순방 성과를 평가해달라는 질문에 "반도체가 거의 90%였다"고 말했다.

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